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ウェハ裏面マーキング装置
製品説明:
ウエハー裏面マーキング装置は、高精密モーションプラットフォームと完全クローズドループ数値制御システム、及び高解像度ccd画像位置決め技術とaoi検査機能を採用し、ウエハー裏面マーキングと全自動ウエハーローディング、アンローディングに使用でき、装置は完全に独立した知的財産権を有する。
製品メリット:
1.画像:±10um、プラットフォームリピート:±5um、マシン全体の精度:±50um;
2.シングルヘッドの効率は、通常のダブルヘッドをさらに50%上回ると同時に、8,12inch foup、casseteと互換性がある;
3.ウエハーの水平になるメカニズムが装備されていて、柔らかいウエハーにマーキングすることができ、高精度のハードウェア構成はウエファーのゆがみ(≤ 12mm)に対処できる;
4.レーザー:グリーンレーザー、空冷放熱、モジュール化された設計。
グリーンレーザー、空冷式冷却
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